基于薄膜金属电极的等离子体显示板

专利权的终止

摘要

本实用新型针对薄膜光刻技术制备金属电极中，热压感光干膜工艺容易在感光干膜与基板之间残留气泡，进而在接触式曝光中气泡被放大，从而使基板上的电极出现大量缺陷的问题，公开了一种可降低感光性干膜与基板之间残留的气泡对基板质量的影响的基于薄膜金属电极等离子体显示板，其特征所述的前板电极组(2)和后板电极组(6)采用金属电极，并用薄膜光刻技术制备，所述的薄膜光刻技术在显影工艺结束后，增加了二次热压干膜工艺。它具有工艺简单，效率高，成品率高，成本低的优点。

基本信息

专利标题：

基于薄膜金属电极的等离子体显示板

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720036836.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-04-29

授权号：

CN201038118Y

授权日：

2008-03-19

发明人：

樊兆雯张浩康李青张雄朱立锋王保平

申请人：

南京华显高科有限公司

申请人地址：

210061江苏省南京市高新开发区商务办公楼413室

代理机构：

南京天华专利代理有限责任公司

代理人：

夏平

优先权：

CN200720036836.2

主分类号：

H01J17/49

IPC分类号：

H01J17/49 H01J17/04 H01J9/02