一种高灵敏压力传感器

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种高灵敏压力传感器，它由壳体、硅杯、进气口和引线组成，其主要特征是硅杯上覆盖有硅膜片，硅膜片上设有氧化层，硅杯下部的高压腔与进气口连通，氧化层上设有纳米硅力敏电阻，本实用新型灵敏性高，稳定性好，温度范围宽，可广泛使用于汽车、探矿及军事工程。

基本信息

专利标题：

一种高灵敏压力传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720037740.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-05-16

授权号：

CN201075043Y

授权日：

2008-06-18

发明人：

何宇亮王树娟

申请人：

何宇亮;王树娟

申请人地址：

210036江苏省南京市河西区龙园北路80号1幢1806室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200720037740.8

主分类号：

G01L1/18

IPC分类号：

G01L1/18

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01L

测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力

G01L1/00

力或应力的一般计量

G01L1/18

利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质

法律状态

2010-09-01 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101005264484
IPC(主分类) : G01L 1/18
专利号 : ZL2007200377408
申请日 : 20070516
授权公告日 : 20080618

2008-06-18 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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