超小型高灵敏磁传感器
发明专利公报更正
摘要
为了提供由与ASIC一体形成的磁场检测元件构成的超小型高灵敏磁传感器，本发明将形成在ASIC(4)的绝缘保护被膜(10a)上表面的基板皮膜(10b)的厚度设置为1～20μm，在该基板皮膜上(10b)设置深度为1～10μm的沟槽(11)，沿该沟槽(11)的面以埋设线圈的一部分或全部的方式形成元件(1)，元件(1)的电极与ASIC(4)的电极通过贯通绝缘保护被膜(10a)和基板皮膜(10b)的通孔方式电极接合部电连接，自ASIC(4)表面起的元件部的厚度设置为20μm以下。
基本信息
专利标题 ：
超小型高灵敏磁传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110753850A
申请号 ：
CN201880039654.1
公开（公告）日 ：
2020-02-04
申请日 ：
2018-05-22
授权号 ：
CN110753850B8
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
本蔵义信本蔵晋平工藤一恵田迈淳一菊池永喜
申请人 ：
朝日英达科株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
北京中博世达专利商标代理有限公司
代理人 ：
侯志源
优先权 ：
CN201880039654.1
主分类号 ：
G01R33/02
IPC分类号 ：
G01R33/02 H01L43/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/02
测量磁场或磁通量的方向或大小
法律状态
2022-04-01 ：
发明专利公报更正
号牌文件类型代码=1608
号牌文件序号=10182779883292
卷=38
号=07-01
IPC(主分类)=G01R0033020000
更正项目=发明人
误=本蔵义信;本蔵晋平;工藤一恵;田迈淳一;菊池永喜
正=本蔵义信;本蔵晋平;工藤一恵;田辺淳一;菊池永喜
号牌文件序号=10182779883292
卷=38
号=07-01
IPC(主分类)=G01R0033020000
更正项目=发明人
误=本蔵义信;本蔵晋平;工藤一恵;田迈淳一;菊池永喜
正=本蔵义信;本蔵晋平;工藤一恵;田辺淳一;菊池永喜
2022-04-01 ：
发明专利更正
号牌文件类型代码=1608
号牌文件序号=10182779883292
卷=38
号=07-01
页码=扉页
IPC(主分类)=G01R0033020000
更正项目=发明人
误=本蔵义信;本蔵晋平;工藤一恵;田迈淳一;菊池永喜
正=本蔵义信;本蔵晋平;工藤一恵;田辺淳一;菊池永喜
号牌文件序号=10182779883292
卷=38
号=07-01
页码=扉页
IPC(主分类)=G01R0033020000
更正项目=发明人
误=本蔵义信;本蔵晋平;工藤一恵;田迈淳一;菊池永喜
正=本蔵义信;本蔵晋平;工藤一恵;田辺淳一;菊池永喜
2022-02-15 ：
授权
2020-02-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 33/02
申请日 : 20180522
申请日 : 20180522
2020-02-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN110753850B.PDF
PDF下载
2、
CN110753850A.PDF
PDF下载
