外延炉尾气净化器

避免重复授权放弃专利权

摘要

本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器，它具有初次洗涤室、二次洗涤室和填料室，初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置，二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置，壳体顶端装有进气口，进气口通过进气管道通入初次洗涤室下部，填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口，排泄锥喷嘴喷淋装置下方装有圆锥形管口。本实用新型结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低，废气净化效率高，废气处理效果好，设备检修方便，维护停机时间短，设备正常运行时间长，工艺稳定性好，安全可靠。

基本信息

专利标题：

外延炉尾气净化器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720040438.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-07-30

授权号：

CN201073588Y

授权日：

2008-06-18

发明人：

张文光

申请人：

张文光

申请人地址：

213171江苏省常州市武进区漕桥镇工业园区常州恒威净化设备有限公司

代理机构：

常州市维益专利事务所

代理人：

王凌霄

优先权：

CN200720040438.8

主分类号：

B01D53/78

IPC分类号：

B01D53/78