外延炉尾气净化器

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。它具有PID控制器(35)、实时检测外延炉尾气净化器的进气口(8)的负压情况的负压检测装置(34)和控制循环泵组(21)的电机的转速的变频器(36)，负压检测装置(34)安装在进气口(8)处，负压检测装置(34)接PID控制器(35)的输入端，变频器(36)接PID控制器(35)的输出端。本实用新型的外延炉尾气净化器能实时检测外延炉的尾气排放量，根据外延炉尾气排放量控制电机转速，在尾气排放比较少的情况下，控制电机低速运转，达到节能的效果。

基本信息

专利标题：

外延炉尾气净化器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820040732.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-07-04

授权号：

CN201216914Y

授权日：

2009-04-08

发明人：

张文光

申请人：

张文光

申请人地址：

213171江苏省常州市武进区漕桥镇工业园区常州恒威净化设备有限公司

代理机构：

常州市维益专利事务所

代理人：

王凌霄

优先权：

CN200820040732.3

主分类号：

B01D53/18

IPC分类号：

B01D53/18