用于处理外延炉尾气的水洗管
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摘要
本实用新型涉及处理外延炉尾气设备，具体涉及一种用于处理外延炉尾气的水洗管，包括水洗段，在水洗段上具有一个或多个水洗进口，水洗机构自水洗进口向水洗段内输送水洗用的第一水流，水洗段上还具有一个或多个冲洗进口，冲洗机构自冲洗进口向水洗段内输送冲洗水洗管内沉淀物的第二水流。本实用新型水洗管的结构能够有效的避免在尾气处理中在水洗管内产生的大量沉淀，保证外延炉内的负压保持在良好的状态，有效的解决了水洗管的进气口被堵塞的情况。
基本信息
专利标题 ：
用于处理外延炉尾气的水洗管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020323134.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-16
授权号 ：
CN212017370U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
章瑜张文
申请人 ：
上海晶盟硅材料有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区北青公路8228号二区48号
代理机构 ：
上海脱颖律师事务所
代理人 ：
李强
优先权 ：
CN202020323134.8
主分类号 ：
B01D53/78
IPC分类号 ：
B01D53/78 B01D53/18 B01D47/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/78
利用气—液接触
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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