一种砷外延尾气湿式处理装置
授权
摘要
本实用新型涉及砷外延尾气处理技术领域，且公开了一种砷外延尾气湿式处理装置，包括箱体，所述箱体竖直设置，所述箱体顶端侧面设置有侧挂机构，所述箱体内部设置有湿处理机构，所述箱体底端左侧水平设置有进气管；湿处理机构包括固定板、滤板。该砷外延尾气湿式处理装置，通过设置侧挂机构，将L型板安装在目标架上后，方便箱体侧挂在目标架上，通过限位板，使箱体在挂接后不会因外界因素导致脱离，提高装置的安全性，通过转动调节杆，使螺纹块推动限位板二移动，使限位板回收至收纳腔内部，方便L型板与箱体脱离，提高装置的使用性；通过设置湿处理机构，利用喷淋管对湿润后的尾气进一步处理，提高尾气的湿处理效果。
基本信息
专利标题 ：
一种砷外延尾气湿式处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220298998.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-02-14
授权号 ：
CN216703884U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
沈恒文吉双平刘彤辉金修领郝小峰王伟康程宣林
申请人 ：
江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市梁溪区红星路8号
代理机构 ：
杭州寒武纪知识产权代理有限公司
代理人 ：
殷筛网
优先权 ：
CN202220298998.8
主分类号 ：
B01D53/18
IPC分类号 ：
B01D53/18 B01D47/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/14
通过吸收作用
B01D53/18
吸收装置；其中的液体分配器
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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