一种外延炉尾气处理设备的清理机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种外延炉尾气处理设备的清理机构，包括尾气处理设备本体，所述尾气处理设备本体的内部设置有滤芯本体，所述滤芯本体的右侧设置有固定板，所述滤芯本体的右侧贯穿固定板并延伸至固定板的内部，尾气处理设备本体左侧的底部设置有转动盘，转动盘的右侧固定连接有螺纹杆。本实用新型通过设置尾气处理设备本体、滤芯本体、固定板、转动盘、螺纹杆、固定轴承、螺纹孔、拉盘、拉杆、升降板、复位弹簧、卡块、排气管和进气管的配合，使固定板的右侧移动，再将卡块与滤芯本体分离，然后取出滤芯本体进行清理，从而达到了便于使用者清理滤芯的效果，解决了现有的外延炉尾气处理设备不便于使用者清理滤芯的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种外延炉尾气处理设备的清理机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921085141.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-11
授权号 ：
CN210751795U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
沈恒文林旭斌金修领吉双平郝小峰刘彤辉
申请人 ：
江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区青龙山联合工业园108号
代理机构 ：
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄冠华
优先权 ：
CN201921085141.2
主分类号 ：
B01D46/42
IPC分类号 ：
B01D46/42 B01D46/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/42
辅助设备及其操作
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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