一种外延尾气处理器快速维护的装置

专利权的终止

摘要

一种外延尾气处理器快速维护的装置，它包括：水池、水雾过虑器，盲板，所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管道：氮气吹扫管道，连接水泵的自来水或普通水管道，超声波发生器的探头。本实用新型优点是：在超声波的作用下，絮状硅化物被破碎成细小的颗粒而易于排掉，避免了原来拆开管路和盲板的麻烦，并避免了接口处卡箍的安装和拆卸以及由于卡箍反复装拆可能导致的管路漏气。缩短外延维护时间，延长尾气处理器的维护周期，进而整体上提高外延工艺的生产效率。

基本信息

专利标题：

一种外延尾气处理器快速维护的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720169417.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-06-25

授权号：

CN201061754Y

授权日：

2008-05-21

发明人：

何自强冯泉林常青

申请人：

北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司

申请人地址：

100088北京市新街口外大街2号

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司

代理人：

郭佩兰

优先权：

CN200720169417.6

主分类号：

B01D53/78

IPC分类号：

B01D53/78

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B01

一般的物理或化学的方法或装置

B01D53/00

气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化

B01D53/34

废气的化学或生物净化

B01D53/74

净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置

B01D53/77

液相方法

B01D53/78

利用气—液接触

法律状态

2013-08-21 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101508921925
IPC(主分类) : B01D 53/78
专利号 : ZL2007201694176
申请日 : 20070625
授权公告日 : 20080521
终止日期 : 20120625

2012-05-23 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101360527251
IPC(主分类) : B01D 53/78
专利号 : ZL2007201694176
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京有色金属研究总院
变更后权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20120417

2008-05-21 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载