一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道
授权
摘要
本实用新型涉及尾气处理技术领域，且公开了一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，包括第一使用装置和第二使用装置，所述第一使用装置包括有第一连接管、第一常开气动阀，通过设置砷尾气管、手阀、砷尾气吸附式处理器、第一门阀、第一处理管、过压开关、差压计、第二处理管、第二门阀，其中第一门阀、第二门阀动作切换时由PLC设定先后顺序延时控制，已减少砷尾气吸附式处理器压力波动，取主设备AsH开启信号输入PLC控制第一门阀、第二门阀切换动作，实现AsH开启时尾气通过砷尾气吸附式处理器,实现AsH关闭时尾气通过砷尾气水洗式处理器，达到了管道精准自动切换、减少吸附剂的浪费的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220293118.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-02-14
授权号 ：
CN216703868U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
沈恒文吉双平刘彤辉金修领郝小峰王伟康程宣林
申请人 ：
江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市梁溪区红星路8号
代理机构 ：
杭州寒武纪知识产权代理有限公司
代理人 ：
殷筛网
优先权 ：
CN202220293118.8
主分类号 ：
B01D53/04
IPC分类号 ：
B01D53/04 B01D53/18
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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