等离子体处理设备中送气系统的改进结构

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种等离子体处理设备中送气系统的改进结构，包括设置在腔体(1)内的送气管(2)，所述送气管(2)上设有朝向所述腔体(1)的内壁的喷口(4)。本实用新型的优点是：结构简单，制造和工程难度小，节省费用，可以显著改善腔体内气体分布的均匀性，提高等离子体处理的效果。

基本信息

专利标题：

等离子体处理设备中送气系统的改进结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720052896.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-06-18

授权号：

CN201063957Y

授权日：

2008-05-21

发明人：

柳灵李志东陈蓓

申请人：

广州市兴森电子有限公司深圳市睿宝科技有限公司

申请人地址：

510730广东省广州市经济技术开发区明华一街鸿兴大厦A座一楼

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

曾旻辉

优先权：

CN200720052896.3

主分类号：

H05H1/42

IPC分类号：

H05H1/42 H01J37/32

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法律状态

2017-07-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736767657
IPC(主分类) : H05H 1/42
专利号 : ZL2007200528963
申请日 : 20070618
授权公告日 : 20080521
终止日期 : 无

2014-04-30 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101700546474
IPC(主分类) : H05H 1/42
专利号 : ZL2007200528963
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 广州市兴森电子有限公司
变更后权利人 : 广州市兴森电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 510730 广东省广州市经济技术开发区明华一街鸿兴大厦A座一楼
变更后权利人 : 510730 广东省广州市广州经济技术开发区锦绣路明华一街10号第一、三层
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市睿宝科技有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20140409

2008-05-21 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201063957Y.PDF

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