半导体器件芯片台面喷腐磁力吸附局部防护装置
专利权的终止
摘要
半导体器件芯片台面喷腐磁力吸附局部防护装置,包括一个保护罩,在芯片台面喷腐处理时,保护罩正好盖在芯片中心需要保护的部位,保护罩与芯片一起形成一个密封面,以保证芯片上需要保护的表面部分在喷腐处理时不会受到酸液溅浸。所述的保护罩是通过磁力吸附方式吸附在芯片表面上的,保护罩的主体为导磁材料制作的盘形结构导磁体,在芯片放置的芯片座上设有磁力发生装置,在芯片台面喷射腐蚀处理加工时,保护罩受磁力发生装置的磁力吸附固定在芯片上,并遮盖在芯片中心需要保护的部位上,以防止芯片台面喷射腐蚀处理时不会有酸液溅浸到芯片中心需要保护的部位。所述的磁力吸附方式可以是永磁吸附方式或电磁吸附方式。
基本信息
专利标题 :
半导体器件芯片台面喷腐磁力吸附局部防护装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720064502.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-20
授权号 :
CN201084710Y
授权日 :
2008-07-09
发明人 :
张明李继鲁蒋谊陈芳林
申请人 :
株洲南车时代电气股份有限公司
申请人地址 :
412001湖南省株洲市石峰区田心北门
代理机构 :
湖南兆弘专利事务所
代理人 :
赵洪
优先权 :
CN200720064502.6
主分类号 :
H01L21/00
IPC分类号 :
H01L21/00 H01L21/02 H01L21/306 C23F1/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2016-11-09 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101687178458
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007200645026
申请日 : 20070920
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20150920
号牌文件序号 : 101687178458
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007200645026
申请日 : 20070920
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20150920
2008-07-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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