一种调节精密磨抛头压力的装置，用于半导体器件制造的精密磨抛机，它有由撑杆连接的顶板及活塞套支撑板，活塞套支撑板下方有驱动环组件和磨头板，活塞套置于活塞套支撑板上，装在活塞套中的活塞杆的下端面置于磨头板上，抽气杆装在所述活塞杆中且该抽气杆上端接有真空接嘴；所述活塞杆的上端由活塞套顶端伸出且其上装有锁紧帽，该锁紧帽一侧的径向螺孔中装有相对于所述活塞杆止动的止动螺钉，负载螺母的下端套装在所述活塞套的上端且二者用螺纹连接，弹簧装在锁紧帽底部与负载螺母的支承台阶之间。它利用弹簧力控制精密磨抛头对磨抛样品压力进行调节，结构简单、性能可靠，还能够应用于机械、玻璃、陶瓷等许多领域的磨抛加工。