一种可调节的抛头机构
授权
摘要
本实用新型涉及硅片抛光技术领域，特别涉及一种可调节的抛头机构。包括分度盘，分度盘外缘设有卡槽，分度盘中心设有竖向主轴，分度盘下端安装有一个安装臂。安装臂与主轴相连，安装臂上端面设有卡盘气缸，卡盘气缸活塞杆与棘爪相连，棘爪上连有滚轮；安装臂下方设有电机，电机轴端部穿过安装臂并与第一带轮相连，主轴上设有第二带轮，第一带轮与第二带轮通过皮带相连；底座与主轴顶端连接，底座上端面设有支架，支架上端面设有下压气缸；下压气缸活塞杆与抛头支撑架相连，抛头支撑架下方连有吸盘组件。本实用新型能实现精确的定位；能够通过调节抛头的下压力来实现硅片上不同的去除量。同时还能调节抛头初始压力。
基本信息
专利标题 ：
一种可调节的抛头机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921069784.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-10
授权号 ：
CN211465912U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
朱亮卢嘉彬赵志鹏谢永旭周锋曹建伟傅林坚王宁银
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 ：
周世骏
优先权 ：
CN201921069784.8
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B41/04 B24B47/22
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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