样品台
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种样品台,包括上底座和下底座,其中下底座包括,配置在下底座上平面上的至少一个弹性活动组以及配置在下底座上平面上的至少一个离胶顶片,其中每一个弹性活动组至少包括一个弹性部件,而离胶顶片的高度至少高于弹性部件处于受压状态时的高度,并且低于弹性部件处于自然状态时的高度;其中上底座用于承载样品,受弹性活动组的支撑,并且具有至少一个与离胶顶片配套的开口,所述开口的位置与离胶顶片对应,且当上底座向下底座下压时使得离胶顶片从开口处伸出。本实用新型样品台在取芯片时可以避免损坏样品,并且结构简单,节约了成本。

基本信息
专利标题 :
样品台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720071239.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-06-18
授权号 :
CN201060150Y
授权日 :
2008-05-14
发明人 :
陈强黄勤白莉莉秦天关业群
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市浦东新区张江路18号
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
逯长明
优先权 :
CN200720071239.3
主分类号 :
G01N13/10
IPC分类号 :
G01N13/10  G01N33/48  G01N35/00  
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法律状态
2017-07-25 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736766081
IPC(主分类) : G01N 13/10
专利号 : ZL2007200712393
申请日 : 20070618
授权公告日 : 20080514
终止日期 : 无
2012-12-12 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101484544168
IPC(主分类) : G01N 13/10
专利号 : ZL2007200712393
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20121112
2008-05-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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