气缸

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种气缸，包括气缸上的排气孔，在所述气缸的排气孔上罩有释放排气孔所排出气体且阻挡油滴排出的滤油装置。所述滤油装置可以是具有通孔的金属外框，并且有一滤油层覆盖金属外框通孔，所述滤油装置还可以是覆盖于排气孔表面的滤油层。所述滤油层的大小大于或等于排气孔的大小。所述滤油层可以是油毡或无尘过滤纸。本实用新型气缸通过罩于排气孔上的滤油装置，防止油滴随放出气体排出而溅落到晶圆上，对晶圆质量产生损坏。

基本信息

专利标题：

气缸

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720071245.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-06-18

授权号：

CN201057265Y

授权日：

2008-05-07

发明人：

桂鹏丁备林庞明磊成亮

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

优先权：

CN200720071245.9

主分类号：

F16J10/00

IPC分类号：

F16J10/00 C30B25/08

IPC结构图谱

F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破

F16

工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热

F16J

活塞；缸；一般压力容器；密封

F16J

活塞；缸；一般压力容器；密封

F16J10/00

发动机或类似机械的缸

法律状态

2017-07-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736767845
IPC(主分类) : F16J 10/00
专利号 : ZL2007200712459
申请日 : 20070618
授权公告日 : 20080507
终止日期 : 无

2012-12-12 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101482145009
IPC(主分类) : F16J 10/00
专利号 : ZL2007200712459
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20121107

2008-05-07 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201057265Y.PDF

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