研磨垫调节器的缓冲结构
专利权的终止
摘要

本实用新型提供一种研磨垫调节器的缓冲结构,其首先安装在研磨垫调节器上,然后再将研磨金刚石盘安装到研磨垫调节器上;其中,该结构整体是一个圆形结构,该圆形结构从最外缘到圆心分别包括最外缘的一圈凸块结构,中部设置的弯折段,临近圆心的环形凸块以及中心凹陷部。凸块结构与研磨垫调节器配合。环形凸块与研磨垫调节器配合。中心凹陷部与研磨金刚石盘相配合。与现有技术相比,本实用新型有效解决了现有技术中十字架构容易断裂的缺点,延长了研磨垫调节器的使用寿命,不仅使生产效率得以提高而且降低了生产成本;同时设置了呈同心圆分布的弯折段,增大了弯折的面积,从而增强了弹性性能以及缓冲性能。

基本信息
专利标题 :
研磨垫调节器的缓冲结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720071432.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-06-22
授权号 :
CN201089113Y
授权日 :
2008-07-23
发明人 :
陈肖科
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江路18号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
王洁
优先权 :
CN200720071432.7
主分类号 :
B24B37/04
IPC分类号 :
B24B37/04  B24B29/02  H01L21/304  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
法律状态
2017-07-25 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736767804
IPC(主分类) : B24B 37/04
专利号 : ZL2007200714327
申请日 : 20070622
授权公告日 : 20080723
终止日期 : 无
2013-04-10 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101562057346
IPC(主分类) : B24B 37/04
专利号 : ZL2007200714327
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130318
2008-07-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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