一种模块化的激光直刻装置，整套装置采用模块化设计，由激光调制模块、光点扫描模块、激光功率检测模块、自动聚焦模块、控制和检测模块构成。系统将激光器发出的平行激光会聚成光点聚焦在待刻写的样品表面，利用计算机控制射向样品表面的激光强度的同时控制样品移动，即可在样品表面形成具有灰度分布的二维图形。本实用新型可以在不需掩模的情况下直接在光或热阻薄膜材料表面形成纳米构造，具有加工周期短、灵活性高、适用范围广、模块化程度高、加工精度高、可扩展性强等特点。