一种洁净室开孔辅助治具
专利权的终止
摘要

本实用新型提供了一种洁净室开孔辅助治具,用于辅助开孔器在无尘室中对需开孔件进行无污染的开孔,该开孔器具有本体、设置在本体底端部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块,该支架底部具有一缺口。现有技术中直接使用开孔器在洁净室中开孔时易造成粉尘污染。本实用新型的洁净室开孔辅助治具具有与该缺口形状相匹配的罩体,该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间,该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道,在使用该开孔器开孔时通过该抽风装置抽风以确保该封闭空间为负压。采用本实用新型可避免在洁净室开孔时产生粉尘污染。

基本信息
专利标题 :
一种洁净室开孔辅助治具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720074479.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-07
授权号 :
CN201115877Y
授权日 :
2008-09-17
发明人 :
周树国
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江路18号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所
代理人 :
屈蘅
优先权 :
CN200720074479.9
主分类号 :
B23B47/00
IPC分类号 :
B23B47/00  B23B47/34  B25D17/18  B08B15/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23B
车削;镗削
B23B47/00
专门适用于镗床或钻床的部件结构特征;及其附件
法律状态
2017-10-31 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : B23B 47/00
申请日 : 20070907
授权公告日 : 20080917
2013-06-05 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101602603775
专利号 : ZL2007200744799
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
IPC(主分类) : B23B 47/00
登记生效日 : 20130508
2008-09-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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