大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置
专利权的终止
摘要

一种大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置,包括置放待测光学元件的X-Y精密步进平台;在所述X-Y精密步进平台的法线方向和待测光学元件的上方,自下而上同光轴地依次设置第二平面反射镜、散射光收集光阑、散射光收集物镜、光纤组收集器,该光纤组收集器所收集的多路散射光信号经光纤组引入光电探测器阵列转化为多路电信号;一激光器,沿该激光器发出的激光束的方向同光轴地依次设置法拉第隔离器、扩束透镜、准直透镜、聚焦透镜、分光镜和第一平面反射镜,一台计算机,所述的光电探测器阵列收集的散射光信号转化为多路电信号,经过整形滤波后由高速数据采集卡输入该计算机;该计算机通过步进马达驱动X-Y精密步进平台运动。

基本信息
专利标题 :
大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720074556.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-11
授权号 :
CN201110835Y
授权日 :
2008-09-03
发明人 :
程兆谷覃兆宇张志平黄惠杰钱红斌朱健强
申请人 :
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 :
201800上海市800-211邮政信箱
代理机构 :
上海新天专利代理有限公司
代理人 :
张泽纯
优先权 :
CN200720074556.0
主分类号 :
G01N21/958
IPC分类号 :
G01N21/958  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/958
检测透明材料
法律状态
2010-09-22 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101005929670
IPC(主分类) : G01N 21/958
专利号 : ZL2007200745560
申请日 : 20070911
授权公告日 : 20080903
2008-09-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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