渐变反射率镜的镀膜装置
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
摘要
一种渐变反射率镜的镀膜装置，安装架与一基板固定相连，在该基板之上通过支撑杆连接电机安装板，该电机安装板上设有两台步进电机，步进电机通过弹性联轴器分别与挡板安装盘旋转轴和基片旋转轴连接，所述的基片旋转轴和挡板安装盘旋转轴的下端分别与夹具支架和挡板安装盘连接，所述的夹具支架与基片夹具连接，在所述的挡板安装盘的相互垂直两直径上和边缘上分别设置第一圆孔、第一小圆孔和第二圆孔、第二小圆孔，第一圆孔用于安装镀制变化厚度层的挡板；所述基板的下方固定一侧板，侧板上的光电开关支架安装一凹槽式光电开关；步进电机通过真空室内的信号接口与室外的步进电机驱动器连接，步进电机驱动器与控制器相连，光电开关与控制器连接。
基本信息
专利标题 ：
渐变反射率镜的镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720074889.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-09-21
授权号 ：
CN201110900Y
授权日 ：
2008-09-03
发明人 ：
吕国暖易葵曾维强王善成
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800－211邮政信箱
代理机构 ：
上海新天专利代理有限公司
代理人 ：
张泽纯
优先权 ：
CN200720074889.3
主分类号 ：
G02B1/10
IPC分类号 ：
G02B1/10 G02B5/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B1/00
按制造材料区分的光学元件；用于光学元件的光学涂层
G02B1/10
对光学元件表面涂覆或对它进行表面处理后所产生的光学涂层
法律状态
2009-07-29 ：
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
放弃生效日 : 2007921
2008-09-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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