垂向微调及重力补偿机构
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及一种垂向微调及重力补偿机构。本实用新型的垂向微调及重力补偿机构，包括用于支撑物体的静态重量的重力补偿器，位于重力补偿器上的驱动装置，该驱动装置对被支撑物体进行垂向微调及重力补偿。采用本实用新型的垂向微调及重力补偿机构能达到精确的位置控制，同时可以实现垂向三自由度方向的微调整和定位。
基本信息
专利标题 ：
垂向微调及重力补偿机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720076163.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-11-14
授权号 ：
CN201097107Y
授权日 ：
2008-08-06
发明人 ：
王天明袁志扬蔡良斌严天宏李志龙
申请人 ：
上海微电子装备有限公司
申请人地址 ：
201203上海市张江高科技园区张东路1525号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200720076163.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03F9/00 H01L21/68
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2017-12-26 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20071114
授权公告日 : 20080806
申请日 : 20071114
授权公告日 : 20080806
2008-08-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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