可拆卸的放电弧室

专利权的终止

摘要

本实用新型提出了一种可拆卸的放电弧室，包括一主体，其具有一腔体，该腔体的底部具有一开孔；一底板，其可拆卸地安装在该腔体的底部上方，具有一与上述开孔相对应的注入孔；一前板，其可拆卸的竖直安装于该主板的前侧，其具有一微孔用于安装其它部件；一后板，其可拆卸地竖直安装于该主板的后侧；及两侧板，其可拆卸地竖直安装于该主体的两端。该放电弧室上的部件可拆卸并易于安装，得以灵活更换安装于其上的磨损部件，降低成本并且保证离子源长期工作的稳定可靠性。

基本信息

专利标题：

可拆卸的放电弧室

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720076551.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-08

授权号：

CN201117619Y

授权日：

2008-09-17

发明人：

陈勇杉何春雷陈晓潘升林

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200720076551.1

主分类号：

H01J37/08

IPC分类号：

H01J37/08 H01J37/317 H01L21/265

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/02

零部件

H01J37/04

电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置

H01J37/08

离子源；离子枪

法律状态

2017-12-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : H01J 37/08
申请日 : 20071108
授权公告日 : 20080917

2013-02-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101515994939
IPC(主分类) : H01J 37/08
专利号 : ZL2007200765511
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130115

2008-09-17 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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