一种浅药囊抛光布，在基材上面是药囊层，药囊层上布满上开口的药囊，药囊为水滴状，药囊从表面到底部深度为0.2－0.3毫米。药囊层的材料是聚氨酯泡沫塑料。药囊从表面到底部深度0.2毫米。本实用新型效果是：使用这种浅药囊抛光布，加工出来的抛光垫可有效的提高晶片背面的光洁度。本实用新型是技术方案是缩短抛光垫存药的药囊。实施方法为削掉或磨掉药囊多余的部分使药囊缩短，从而在加入还原剂后使药剂中的氯完全快速的中和，提高其表面的光洁度。