硅微压电超声换能器

避免重复授权放弃专利权

摘要

本实用新型提供一种硅微压电超声换能器，包括具有硅杯结构的硅基片，位于该硅基片上的支撑层以及位于支撑层上的N个压电换能单元；其特征在于，所述硅基片的硅杯结构上部具有选择性掺杂层，该选择性掺杂层上具有N个与所述压电换能单元相对应的通孔。与现有技术相比，本实用新型能否达到以下技术效果：本实用新型可以用常规的体硅刻蚀工艺实现密排阵元的薄膜压电换能器阵列，该阵列的阵元间距不受阵元间侧墙厚度及倾角的限制，可根据阵列设计需要任意调整。

基本信息

专利标题：

硅微压电超声换能器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720169897.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-07-25

授权号：

CN201079775Y

授权日：

2008-07-02

发明人：

郝震宏乔东海

申请人：

中国科学院声学研究所

申请人地址：

100080北京市海淀区北四环西路21号

代理机构：

北京泛华伟业知识产权代理有限公司

代理人：

王勇

优先权：

CN200720169897.6

主分类号：

B06B1/06

IPC分类号：

B06B1/06 H01L27/20 H01L21/822

相关图片

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B06

一般机械振动的发生或传递

B06B

一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B1/40，B22C19/06，B23Q17/12，B24B31/06，E01C19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00；勘探用地震能的产生入G01V1/02；机械振动的控制入G05D19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00；声波的合成入G10K15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入

B06B1/00

产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备

B06B1/02

利用电能

B06B1/06

用压电效应或用电致伸缩工作的

法律状态

2011-06-15 ：

避免重复授权放弃专利权

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101102073409
IPC(主分类) : B06B 1/06
专利号 : ZL2007201698976
申请日 : 20070725
授权公告日 : 20080702
放弃生效日 : 20070725

2008-07-02 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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