CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统
专利权的终止
摘要

本实用新型为CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统,主要用于CTP版材性能评价,包括版材的敏感度和分辨率的评价。本装置主要包括有830nm激光器、光学变换部分和控制系统三部分。激光器为830nm钛宝石全固态激光器;导光聚焦装置包括反射镜和聚焦透镜;控制系统由电脑、数控装置及三维移动平台组成。该系统光源为830nm激光器,输出830纳米近基模圆光斑高斯光束,控制系统由电脑编程通过控制三维移动平台的运动实现CTP版材定位曝光,以及由电脑编程精确控制曝光时间或者曝光所用激光脉冲个数,可以精确到利用一个激光脉冲来实现曝光。且本系统激光功率高,操作方便,性能稳定。

基本信息
专利标题 :
CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720173126.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-14
授权号 :
CN201083957Y
授权日 :
2008-07-09
发明人 :
李港张大鹏李平雪黄道波陈檬
申请人 :
北京工业大学
申请人地址 :
100022北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 :
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 :
张慧
优先权 :
CN200720173126.4
主分类号 :
G03F7/00
IPC分类号 :
G03F7/00  G03F7/20  G03F7/09  H01S3/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2011-11-23 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止专利号 : ZL2007201731264
申请日 : 20070914
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20100914
号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101141909842
IPC(主分类) : G03F 7/00
2008-07-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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