制备炭/炭构件的温度梯度定向流动气相沉积炉
专利权的终止
摘要

本实用新型一种制备炭/炭构件的温度梯度定向流动气相沉积炉,其是由炉盖、石墨坩埚盖、石墨盖板、保温层、圆盘形预制体、石墨坩埚、石墨发热体、保温毡、炉壁、石墨托物台、坩埚支架、铜电极、炉底、进气孔、热电偶、抽气孔组成;其中进气孔设置在炉底上,铜电极上连有石墨发热体并固定在炉底上,保温毡置于石墨发热体外部;用于测量内侧温度及外侧温度的热电偶分别固定在炉底和炉壁上;炉底上还固定有支撑石墨坩埚的坩埚支架;石墨托物台位于石墨坩埚的底部;圆盘形预制体与石墨盖板之间、圆盘形预制体与石墨托物台之间分别由保温层隔开。

基本信息
专利标题 :
制备炭/炭构件的温度梯度定向流动气相沉积炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720173141.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-14
授权号 :
CN201144282Y
授权日 :
2008-11-05
发明人 :
罗瑞盈张云峰罗京华李进松
申请人 :
北京航空航天大学
申请人地址 :
100083北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学理学院
代理机构 :
北京慧泉知识产权代理有限公司
代理人 :
王顺荣
优先权 :
CN200720173141.9
主分类号 :
C23C16/26
IPC分类号 :
C23C16/26  C23C16/52  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2012-11-14 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101346718704
IPC(主分类) : C23C 16/26
专利号 : ZL2007201731419
申请日 : 20070914
授权公告日 : 20081105
终止日期 : 20110914
2008-11-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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