一种双回路双碳源快速定向气相沉积方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种双回路双碳源快速定向气相沉积方法，其特征在于，采用双碳源气体通过双回路实现定向流动形成稳定的温度场和热流场，促进热解碳快速沉积至预制体内部，实现了预制体的高效致密，提高了炭基复合材料的密度及均匀性；依次包括预制体前处理、一次气相沉积、高温纯化、机械加工和二次气相沉积步骤。本发明公开的双回路双碳源快速定向气相沉积方法沉积周期短，碳源利用率高，制成的炭基复合材料致密度高，密度及均匀性好。
基本信息
专利标题 ：
一种双回路双碳源快速定向气相沉积方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114411115A
申请号 ：
CN202111502710.0
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
苗红民葛平平笪宏飞
申请人 ：
安徽绿能技术研究院有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区香樟大道168号科技实业园D6/11栋
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111502710.0
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/26
申请日 : 20211209
申请日 : 20211209
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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