本实用新型涉及一种用于湿制程设备上方排气的液气分离结构，其形成在一湿制程设备的一上方排气口上，其包含一集水沟槽与一水流管路，该集水沟槽环设在该上方排气口与该湿制程设备的接缝处，以让该集水沟槽承接由该上方排气口滴落的回滴水，该水流管路的一端连接该集水沟槽的低处位置，该水流管路的另一端朝低处延伸且设置在该湿制程设备之外，据而让该上方排气口凝结滴落的回滴水经由该集水沟槽的承接与该水流管路的排放，而避免成为湿制程设备内的污染源。