单晶炉排气口清洁装置

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摘要

本实用新型公开了一种单晶炉排气口清洁装置，包括电机，所述电机的左端输出端连接有转轴，转轴的左端连接有驱动齿轮，驱动齿轮的前端啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮套接在第二连接管的外侧面，第二连接管的内侧面通过轴承转动连接有连接套，连接套内侧面固定连接有第一连接管，第一连接管的右端与吸尘装置的进气口相连通，所述第二连接管的外侧面设有凹槽，凹槽内设有凸棱，凸棱的上端滑动连接有推杆，推杆为倾斜设置，推杆的右端固定连接有调节螺栓且调节螺栓穿过从动齿轮并与从动齿轮内侧面螺纹连接，本装置可以对不同尺寸管口的排气管进行氧化物的清洁，提高了使用的通用性，同时可以将清理时的氧化物残渣取出，提高了清洁效率。

基本信息

专利标题：

单晶炉排气口清洁装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920591675.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-26

授权号：

CN210065984U

授权日：

2020-02-14

发明人：

魏海宁宋涛

申请人：

徐州晶睿半导体装备科技有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号

代理机构：

北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

华德明

优先权：

CN201920591675.6

主分类号：

C30B35/00

IPC分类号：

C30B35/00