本实用新型公开了一种可重复使用的原子氧探头及探测系统，属于气体探测领域。本实用新型采用制备于蓝宝石基底上的氧化锌半导体薄膜作为探头，其上镀制有金属电极，通过导线与直流电源和电流表相连接；探头安装于半导体加热器上，侧面装有热电偶，用来测量和控制探头温度。原子氧作用于探头后，通过测量氧化锌薄膜电阻变化可以得出原子氧束流通量变化，从而达到探测的目的。通过加热器加热，可以使半导体薄膜表面吸附的原子氧脱附，使其电阻值恢复到初始值，从而达到重复使用的目的。本实用新型对原子氧具有良好的响应特性，通过加热，探头具有稳定的重复使用特性，可用于地面原子氧探测和低地球卫星轨道环境中的原子氧探测。