本实用新型公开了一种高精度、高分辨率位移传感器，包括主尺、副尺、主栅线路板、副栅线路板、控制线路板、液晶显示器及按键，主尺与副尺可相对滑动，主栅线路板安装在主尺上，副栅线路板安装在控制线路板上，控制线路板安装在副尺上，液晶显示器及按键安装在控制线路板上，副栅线路板及副栅线路板上的发射电极与接收电极是基材为硅片的集成线路结构。该位移传感器副栅线路板的发射电极与接收电极极为精细，与主栅线路板配合可达到极高的分辨率，如1μm、0.5μm、0.1μm等，可用于制作精度极高的千分尺、千分表、测高仪、测长仪等量具。