一种真空设备的视窗遮罩装置，包含一个贯穿并固定于该真空设备的一腔体上的固定轴座、一个可转动地自该腔体外部轴穿过该固定轴座并突伸入该腔体内部中的旋转控制件、以及一面能面对该真空设备的观察窗并位于该腔体内部的遮罩件。该遮罩件是固接该旋转控制件于该腔体内部中的一端部，并能以其为支点地相对该腔体的内壁面进行摆动，而对该观察窗产生遮蔽作用。本实用新型整体能达到有效维持观察窗的洁净，以有助准确观察与严密监控制程进度与状态的效果。