精密金属遮罩及其制造方法
实质审查的生效
摘要
一种精密金属遮罩包含板体。板体包含相对的第一表面及第二表面。第一表面具有第一内缘，围绕而定义第一开口。第二表面具有第二内缘，围绕而定义第二开口，第二开口连通第一开口。板体包含第一弧面及第二弧面，第一弧面位于第一开口并连接第一表面，第二弧面位于第二开口并连接第二表面。第一弧面与第二弧面连接于第三内缘，围绕而定义第三开口，第三开口小于第一开口及第二开口。第三内缘包含第一直边、第二直边以及圆弧边，第一直边与第二直边形成夹角，圆弧边连接于第一直边与第二直边之间，圆弧边具有半径，半径小于或等于15微米。
基本信息
专利标题 ：
精密金属遮罩及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114481022A
申请号 ：
CN202210150042.8
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-02-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
方冠杰林启维
申请人 ：
达运精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹县湖口乡光复北路20-1号
代理机构 ：
北京市立康律师事务所
代理人 ：
梁挥
优先权 ：
CN202210150042.8
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C14/24 H01L51/56 C23F1/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/04
申请日 : 20220209
申请日 : 20220209
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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