OLED蒸镀用精密金属遮罩
授权
摘要
一种OLED蒸镀用精密金属遮罩，其特征在于，金属基材上均匀设置结构相同的凹陷区，凹陷区是侧面为弧形的圆台体空腔，圆台体空腔的大端面开在金属基材的第一主表面上，圆台体空腔的小端面在金属基材内；孔洞的外端面开在金属基材的第二主表面上，孔洞的内端面与圆台体空腔的小端面为共同端面；圆台体空腔大端面、小端面与金属基材纵向截面相交成两端点，该两端点的连线与金属基材第一主表面、第二主表面成45‑65度蒸镀角。本实用新型是透过蚀刻激光复合制作法所制作出来的，因其第二主表面与孔洞开口的侧边壁面接近垂直无斜坡，其交界处无尖点，结构相对稳定，且孔洞大小的精度达到≤±2um，蒸镀角达到45‑65度。
基本信息
专利标题 ：
OLED蒸镀用精密金属遮罩
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920691316.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-15
授权号 ：
CN210134157U
授权日 ：
2020-03-10
发明人 ：
蒋国忠宋荣华高远王志安
申请人 ：
江西联创致光科技有限公司
申请人地址 ：
江西省南昌市高新技术产业开发区京东大道168号
代理机构 ：
江西省专利事务所
代理人 ：
黄新平
优先权 ：
CN201920691316.8
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C14/24 C23C14/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2020-03-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
