本发明公开了一种超高真空金属蒸镀设备及其蒸镀方法，旨在解决现有的真空金属蒸镀设备配备的蒸发源器件数量较少，且蒸镀金属材料单一加上单次蒸镀基底数量受限，效率较低，同时也没有设计对基底基底的温度控制器件，导致蒸镀附着性较差的问题，超高真空金属蒸镀设备，包括平台机架，平台机架的上端通过若干个支撑腿固定有内部中空且于腔壁上开设有若干法兰口的球形腔体；球形腔体的法兰口上分别安装有：若干个快开门；压电旋转机构；若干个高温热蒸发源机构；放气阀；电极法兰；抽真空机构；还包括有工控计算机或微型控制电脑。本发明尤其适用于超高真空的多蒸发源金属蒸镀，具有较高的社会使用价值和应用前景。