蒸镀遮掩装置和蒸镀设备
授权
摘要
本实用新型公开一种蒸镀遮掩装置和蒸镀设备，其中，蒸镀遮掩装置包括载台和设置在载台上的遮板，遮板包括框架和设置在框架内的遮条组件，遮条组件包括第一遮条和第二遮条，第一遮条的两端均与框架连接，第二遮条的一端和框架连接，第二遮条的另一端和第一遮条连接，至少在第二遮条的中部区域的下方设置支撑板，支撑板包括连接端和悬空端，连接端和载台可拆卸连接，悬空端和遮条组件的下表面抵紧，且悬空端的端面凸出于载台且不凸出于遮条组件。通过设置支撑板，支撑板可以对第二遮条的中部区域进行支撑，减少第二遮条中部区域因重力产生的下凹变形，使遮板的第二遮条与待蒸镀的基板之间能够处于规定的范围之内，从而提高蒸镀所得的基板质量。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀遮掩装置和蒸镀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122765984.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
CN216237239U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
彭振威
申请人 ：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
陈宏
优先权 ：
CN202122765984.0
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C14/24 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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