蒸镀装置及蒸镀方法

专利申请权、专利权的转移

摘要

本发明公开了蒸镀装置和蒸镀方法。该蒸镀装置中，分解所需要的能量相对较高的气体利用等离子体分解方式和加热体方式进行分解，分解所需要的能量相对较低的气体利用加热体方式进行分解，由此在基板上形成蒸镀物。在利用现有的ICP-CVD装置或PECVD等的等离子体装置形成绝缘膜时，存在源气体难以完全分解而使蒸镀物的特性变差，源气体的使用效率差的缺陷，本发明为了克服该缺陷而涉及等离子体或/及加热体方式的蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀方法。

基本信息

专利标题：

蒸镀装置及蒸镀方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101476116A

申请号：

CN200910002040.9

公开（公告）日：

2009-07-08

申请日：

2006-01-20

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

金汉基许明洙金明洙李奎成郑锡宪

申请人：

三星移动显示器株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

张波

优先权：

CN200910002040.9

主分类号：

C23C16/48

IPC分类号：

C23C16/48 H01L21/31

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C16/00

通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺

C23C16/44

以镀覆方法为特征的

C23C16/48

辐射法，例如光分解、辐射分解、粒子辐射

法律状态

2012-11-21 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101464745279
IPC(主分类) : C23C 16/48
专利号 : ZL2009100020409
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
登记生效日 : 20121018

2011-03-30 ：

授权

2009-09-02 ：

实质审查的生效

2009-07-08 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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