本发明公开了一种蒸镀掩膜版、其制作方法、蒸镀装置及蒸镀方法，通过在现有蒸镀掩膜版的基础上，在掩膜版主体上设置了反磁化层。由于反磁化层在磁场作用下具有与掩膜版主体相反的磁性，因此，在蒸镀过程中，受磁场作用，掩膜版主体可以具有与蒸镀装置中的磁板相同的磁性，反磁化层可以具有与蒸镀装置中的磁板相反的磁性。这样在将蒸镀掩膜版从蒸镀装置中取出来后，可以通过相反磁性相互抵消的作用，将掩膜版主体的磁性减弱，甚至消除，之后在将蒸镀掩膜版放入蒸镀装置中时，可以提高吸附效果，减小待蒸镀基板和蒸镀掩膜版之间的间隙，从而可以提高蒸镀完成的产品的品质。