本申请提供了一种蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法。其中，蒸镀装置，包括蒸镀腔，吸附组件，所述吸附组件用于吸附所述蒸镀腔中的粒子，所述吸附组件包括位于所述蒸镀腔内的第一部分和位于所述蒸镀腔外的第二部分；传送组件，所述传送组件上设置有所述第一部分和所述第二部分，当满足预设条件时，所述传送组件驱动所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内。本申请实施例通过传送组件自动更换吸附组件以使新的吸收组件吸收粒子，以防止粒子沉积到蒸镀腔中的防着板上，从而避免了在制备显示面板时基板上引入粒子的情况，解决了加热蒸发的方式导致基板上留有粒子的问题，进而提高有机显示器件的显示性能。