蒸镀装置及蒸镀方法

授权

摘要

本发明实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法，蒸镀装置包括：承载台，包括主体部、升降部和由主体部围合形成的中空部，主体部具有承载面，升降部在垂直于承载面的方向上可伸缩地设于主体部；掩模组件，设置于承载台，掩模组件包括掩模框架和连接于掩模框架的掩模板，掩模板由中空部露出，掩模框架设置于承载面，以通过升降部的升降能够调节掩模框架与承载面的相对位置。在本发明实施例提供的蒸镀装置中，可以调节掩模板和待蒸镀基板的相对位置，提高掩模板和待蒸镀基板的对位精度，进而提高蒸镀精度。

基本信息

专利标题：

蒸镀装置及蒸镀方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112647046A

申请号：

CN202011299840.4

公开（公告）日：

2021-04-13

申请日：

2020-11-18

授权号：

CN112647046B

授权日：

2022-05-17

发明人：

齐英旭郭宏伟于上智卓林海王亚周小康

申请人：

昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市玉山镇晨丰路188号3号房

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

尹红敏

优先权：

CN202011299840.4

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/04 C23C14/50