薄膜蒸镀方法

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摘要

本发明提供一种薄膜蒸镀方法，包括以下步骤：S1：在薄膜蒸镀装置中，将多个不同组分的靶材沿第一方向设置；S2：使衬底与所述靶材在所述第一方向上发生相对运动的同时使所述靶材蒸发，在所述衬底上沉积形成薄膜。

基本信息

专利标题：

薄膜蒸镀方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110684947A

申请号：

CN201810724771.3

公开（公告）日：

2020-01-14

申请日：

2018-07-04

授权号：

CN110684947B

授权日：

2022-05-27

发明人：

刘宇

申请人：

北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

申请人地址：

北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室

代理机构：

北京华进京联知识产权代理有限公司

代理人：

王赛

优先权：

CN201810724771.3

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/14

相关图片

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/24

真空蒸发

法律状态

2022-05-27 ：

授权

2021-05-11 ：

著录事项变更

IPC(主分类) : C23C 14/24
变更事项 : 申请人
变更前 : 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
变更后 : 北京顶荣光伏科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
变更后 : 100076 北京市大兴区瀛海镇镇区瀛顺路9号8号楼6层6015

2021-05-11 ：

专利申请权、专利权的转移

专利申请权的转移IPC(主分类) : C23C 14/24
登记生效日 : 20210427
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 北京顶荣光伏科技有限公司
变更后权利人 : 鸿翌科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100076 北京市大兴区瀛海镇镇区瀛顺路9号8号楼6层6015
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)

2020-02-11 ：

实质审查的生效

IPC(主分类) : C23C 14/24
申请日 : 20180704

2020-01-14 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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