蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法
实质审查的生效
摘要
具备带状部和包围带状部的框状部。带状部具备形成有多个掩模孔的掩模部和包围掩模部的周边部。周边部以及框状部具有第一板厚。带状部的边缘包括第一边缘和第二边缘。第一边缘包括在带状部的宽度方向上与掩模部对置的部分。将第一边缘从框状部分离的分离部位于第一边缘与框状部之间。具有比第一板厚薄的第二板厚的线状的半蚀刻部位于第二边缘与框状部之间。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341393A
申请号 ：
CN202080061555.0
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
松隈香相川建一郎
申请人 ：
凸版印刷株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
牛玉婷
优先权 ：
CN202080061555.0
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C14/24 B23P15/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/04
申请日 : 20200903
申请日 : 20200903
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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