蒸镀掩模中间体、蒸镀掩膜及蒸镀掩模的制造方法
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摘要
蒸镀掩模中间体具备具有追随蒸镀掩模的边缘的形状的带状部、具备具有追随带状部的边缘的形状的内侧边缘且包围带状部的框状部、以及将带状部的边缘与框状部的内侧边缘连接的多个跨接部。带状部通过各跨接部的切断而形成蒸镀掩模。在带状部的边缘设置有具有追随缺口的底部的形状的弯曲部，各跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀掩模中间体、蒸镀掩膜及蒸镀掩模的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112639157A
申请号 ：
CN201980057322.0
公开（公告）日 ：
2021-04-09
申请日 ：
2019-09-06
授权号 ：
CN112639157B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
西刚广山本龙彦小林昭彦
申请人 ：
凸版印刷株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
戚宏梅
优先权 ：
CN201980057322.0
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04
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IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2021-09-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/04
申请日 : 20190906
申请日 : 20190906
2021-04-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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