蒸镀掩模
授权
摘要

本公开的蒸镀掩模,在设从P1点到Q1点的尺寸为X1,设从P2点到Q2点的尺寸为X2,设尺寸X1和尺寸X2的设计值为αX时,所述蒸镀掩模满足数式1,【数式1】

基本信息
专利标题 :
蒸镀掩模
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921052051.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-05
授权号 :
CN210683919U
授权日 :
2020-06-05
发明人 :
池永知加雄
申请人 :
大日本印刷株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
金玲
优先权 :
CN201921052051.3
主分类号 :
C23C14/04
IPC分类号 :
C23C14/04  C23C14/24  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物
法律状态
2020-06-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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