蒸镀掩模
授权
摘要
金属制的蒸镀掩模具备以与蒸镀源对置的方式构成的表面和分别包含具有倒锥台状的孔部的多个掩模孔。各掩模孔的孔部具备小开口和大开口，从与蒸镀掩模的表面对置的视点观察，上述小开口具有包含多个角部和分别位于邻接的角部间的多个线状部在内的多边形状的边缘，从与表面对置的视点观察，上述大开口具有由小开口的边缘中的角部相对于小开口的边缘朝向外侧伸出而成的形状的边缘，上述大开口位于表面。从与表面对置的视点观察时，大开口将小开口包围。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀掩模
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022204863.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213708465U
授权日 ：
2021-07-16
发明人 ：
森田贵之
申请人 ：
凸版印刷株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
牛玉婷
优先权 ：
CN202022204863.4
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 H01L51/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2021-07-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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