本发明提供一种蒸镀掩模，将框体的基于截面形状的强度的设定最佳化，利用框体适当抑制掩模主体的变形，防止掩模主体从正确的位置的偏移，且提高蒸镀的精度。将框体(3)的内框部的最小宽度部的截面形状形成为其宽度与厚度的关系成为适当的关系，可靠地赋予最小宽度部的弯曲刚性，因此，赋予相对于来自掩模主体(2)侧的力的所需充分的强度，与相比该最小宽度部宽度宽且强度高的框体(3)的其它部分一起，作为框体(3)整体抑制掩模主体(2)各部的从本应存在的位置的偏移，能够确保蒸镀工序中的掩模与被蒸镀基板的整合状态，能够在被蒸镀基板的适当的位置高精度地进行蒸镀。