蒸镀掩模
实质审查的生效
摘要
蒸镀掩模包括：具有多个开口的掩模部，其具有第1膜厚；和具有第2膜厚的保持部，所述第2膜厚大于所述第1膜厚。所述保持部可以由所述掩模部的一部分和与该掩模部的一部分重叠设置的框体部构成。此时，所述掩模部的一部分可以是包括与所述掩模部的外周对应的部分，也可以是包括从所述掩模部的第1边到所述掩模部的与该第1边相对的第2边横穿所述多个开口之间的部分。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀掩模
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114269962A
申请号 ：
CN202080059113.2
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-07-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
松本优子
申请人 ：
株式会社日本显示器
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
邸万杰
优先权 ：
CN202080059113.2
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C14/26 H01L51/56 C25D5/02 C25D7/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/04
申请日 : 20200702
申请日 : 20200702
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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