本申请提供了一种蒸镀装置及蒸镀材料的回收方法，蒸镀装置包括蒸镀源、限制板以及阻挡件，蒸镀源包括用于放置蒸镀材料的蒸镀腔和位于蒸镀腔在第一方向上一侧、并与蒸镀腔连通的至少一个蒸镀孔。至少两个限制板分设于蒸镀孔在第二方向上的两侧，第一方向与第二方向相交；阻挡件位于限制板靠近蒸镀孔的一侧，阻挡件朝向蒸镀孔的一侧具有沿第二方向内凹形成的多个沉积孔。其中，蒸镀材料经由蒸镀孔向外膨化形成预设蒸发区域，限制板包括位于预设蒸发区域内的第一部分，阻挡件在限制板的正投影与第一部分至少部分交叠，以使至少部分蒸镀材料沉积于阻挡件。本申请实施例使得至少部分蒸镀材料能够沉积在阻挡件上，降低限制板上蒸镀材料的沉积量。