喷淋式扩散源输送装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种喷淋式扩散源输送装置，所述装置包括：石英扩散管和至少一根具有至少一个开孔的石英进气管，待扩散基片放置在石英扩散管内的石英舟内；所述石英进气管位于石英舟的上方、下方或上方和下方；石英进气管上开孔的位置与石英舟相对。利用本实用新型的装置可以减小石英扩散管内杂质源浓度分布的差异，避免基片对气流的运动产生阻挡。扩散后基片单片方块电阻均匀性与已有技术的进气方式相比，有了比较明显的提高，提升的幅度在5％左右。

基本信息

专利标题：

喷淋式扩散源输送装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820005020.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-03-21

授权号：

CN201194231Y

授权日：

2009-02-11

发明人：

杨健黄治国张杰姚海燕汪义川张光春

申请人：

无锡尚德太阳能电力有限公司

申请人地址：

214028江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17－6号

代理机构：

北京金信立方知识产权代理有限公司

代理人：

黄威

优先权：

CN200820005020.8

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/223

法律状态

2016-05-11 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101659975148
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利号 : ZL2008200050208
申请日 : 20080321
授权公告日 : 20090211
终止日期 : 20150321

2013-06-05 ：

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101583803956
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利申请号 : 2008200050208
专利号 : ZL2008200050208
合同备案号 : 2013990000143
让与人 : 无锡尚德太阳能电力有限公司
受让人 : 无锡德鑫太阳能电力有限公司
实用新型名称 : 喷淋式扩散源输送装置
申请日 : 20080321
授权公告日 : 20090211
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20130409

2009-02-11 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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